中文名称

三(三甲基硅)胺

英文名称

NONAMETHYLTRISILAZANE

CAS号

1586-73-8

纯度

97%

沸点

76°C / 12

熔点

70°C

密度

0.863

闪点

Flashpoint: 67°C (153°F)

分子量

233.58

分子式

C9H27NSi3

敏感性

HYDROLYTIC SENSITIVITY: 7: reacts slowly with moisture/water