中文名称

六甲基环三硅氮烷

英文名称

1,1,3,3,5,5-HEXAMETHYLCYCLOTRISILAZANE

CAS号

1009-93-4

纯度

97%

沸点

186-188°C

熔点

-10°

密度

0.922

闪点

Flashpoint: 61°C (142°F)

分子量

219.51

分子式

C6H21N3Si3

敏感性

HYDROLYTIC SENSITIVITY: 7: reacts slowly with moisture/water